Show simple item record

dc.contributor.advisorCoşkun, Özlem Duyartr_TR
dc.contributor.authorZerrin, Tanertr_TR
dc.date.accessioned2015-10-15T08:48:07Z
dc.date.available2015-10-15T08:48:07Z
dc.date.issued2014tr_TR
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/11655/2735
dc.description.abstractDiamond like carbon (DLC) thin films were deposited on glass substrates using reactive DC magnetron sputtering technique. The optical, structural and surface characterization of the films were performed to investigate the relationship between optical and bonding properties. In line with the objective, the effects of different deposition parameters such as substrate temperature (Ts), argon pressure (PAr), the ratio of hydrogen partial pressure to the total gas pressure PH2 (PH2+PAr), and negative substrate bias voltage (Vnb) on the properties of DLC films were studied in detail. The wavelength dependancy of optical constants and thickness of the films were obtained by simultaneous fitting of the optical transmission and reflection spectra using four different optical models, namely Cauchy Absorbent Model, Three Harmonic Oscillator Model, Tauc-Lorentz Model, and Forouhi-Bloomer Model. sp2 sp3 ratio of the films prepared at different working pressures were analyzed using XPS to investigate their bonding properties.tr_TR
dc.language.isoturtr_TR
dc.publisherFen Bilimleri Enstitüsütr_TR
dc.subjectDc magnetron sputteringtr_TR
dc.titleElmas Benzeri Karbon İnce Filmlerin Hazırlanması ve Karakterizasyonutr_TR
dc.typeinfo:eu-repo/semantics/masterThesistr_TR
dc.callno2014/1295tr_TR
dc.bolumFizik Mühendisliğitr_TR
dc.description.ozetElmas benzeri karbon (DLC) ince filmler, reaktif DC magnetron kopartma tekniği kullanılarak cam alttaşlar üzerinde büyütülmüştür. Optik ve bağ özellikleri arasındaki ilişkinin incelenmesi için filmlerin optik, yapısal ve yüzey karakterizasyonları yapılmıştır. Bu amaç doğrultusunda alttaş sıcaklığı (Ts), argon basıncı (PAr), reaktif gaz olarak hidrojen kısmi basıncının toplam gaz basıncına oranı PH2 (PAr+PH2) ve negatif alttaş besleme gerilimi (Vnb) gibi büyütme parametrelerinin değiştirilmesinin, DLC filmlerin özellikleri üzerindeki etkileri araştırılmıştır. Cauchy Soğurucu Modeli, Üçlü Harmonik Osilatör Modeli, Tauc-Lorentz Modeli ve Forouhi-Bloomer Modeli olmak üzere, dört ayrı optik model kullanılarak filmlerin optik geçirgenlik ve yansıtma ölçümlerine eş zamanlı uyuşum m işlemleri uygulanmış, uyuşum işlemleri sonucunda filmlerin dalga boyuna bağlı optik sabitleri ve film kalınlıkları elde edilmiştir.tr_TR


Files in this item

This item appears in the following Collection(s)

Show simple item record